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气体在半导体外延中起到的作用


外延生长实际上主要是一个化学反应过程。硅外延生长使用的主要气源是氢气和氯硅烷类,如四氯化硅(SiCl4)、三氯甲硅烷(SiHCl3)和二氯甲硅烷(SiH2Cl2)。另外,为了降低生长温度,也经常使用硅烷作为气源。选择使用哪种气源主要由生长条件和外延层的规格来决定的,其中生长温度是选择气源种类时要考虑的最重要因素。硅外延层生长速度和生长温度的关系。

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液化天然气无色、无味、无毒、无腐蚀性,天然气在常压和-162℃左右可液化,液化天然气的体积约为气态体积的1/625。在常压下,LNG的密度约为430-470kg/ (因组分不同而略有差异),燃点约为650℃,热值为52MMBtu,在空气中的爆炸极限(体积)为5%-15%。液化天然气的储存是天然气储存方式之一。LNG储罐通常为双层金属罐,与LNG接触的内层材质为含9%Ni低温钢,外层材质为碳钢,中间绝热层为膨胀珍珠岩,罐底绝热层为泡沫玻璃。
液化天然气用途:
世界上环保先进国家都在推广使用LNG.除了用作发厂、工厂家庭用户的燃料外,其中所含的甲烷可用作制造肥料、甲醇溶剂及合成醋酸等化工原料;另外其所含的乙烷 和丙烷可经裂解而生成乙烯及丙烯,是塑料产品的重要原 料. 此外,超低温的LNG在大气压力下转变为常温气态的过 程中,可提供大量的冷能,将这些冷能回收,还可以利用于6种低温用途上:使空气分离而制造液态氧、液态氮,液化 二氧化碳、干冰制造,利用冷能进行发电,制造冷冻食品或使用于冷冻仓库,橡胶、塑料、铁屑等产业废弃物的低 温破碎处理,海水淡化.。

液化天然气

天然气在常压下,冷却至约 -162℃时,则由气态变成液态,称为液化天然气(英文LiquefiedNaturalGas,简称LNG)。LNG的主要成分为甲烷,还有少量的乙烷、丙烷以及氮等。

天然气在液化过程中进一步得到净化,甲烷纯度更高,几乎不含二氧化碳和硫化物,且无色无味、无毒。

液化天然气优势

液化天然气与天然气比较有以下优点:

①便于贮存和运输;

液化天然气密度是标准状态下甲烷的625倍。也就是说,1m3液化天然气可气化成625 m3天然气,由此可见贮存和运输的方便性。

②安全性好;

天然气的储藏和运输主要方式是压缩(CNG)。由于压缩天然气的压力高,带来了很多安全隐患。

③间接投资少;

压缩天然气(CNG)体积能量密度约为汽油的26%,而液化天然气(LNG)体积能量密度约为汽油的72%,是压缩天然气(CNG)的两倍还多,因而使用LNG的汽车行程远,相对可大大减少汽车加气站的建设数量。

④调峰作用;

天然气作为民用燃气或发电厂的燃料,不可避免会有需要量的波动,这就要求供应上具有调峰作用。

⑤环保性;

天然气在液化前必须经过严格的预净化,因而LNG中的杂质含量远远低于CNG,为汽车尾气或作为燃料使用时排放满足更加严格的标准(如“欧Ⅱ”甚至“欧Ⅲ”)创造了条件。
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